Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /

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Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /

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dc.contributor Universidade Federal de Santa Catarina pt_BR
dc.contributor.advisor Muzart, Joel Louis Rene pt_BR
dc.contributor.author Fontana, Luis Cesar pt_BR
dc.date.accessioned 2012-10-16T23:51:14Z
dc.date.available 2012-10-16T23:51:14Z
dc.date.issued 1997
dc.date.submitted 1997 pt_BR
dc.identifier.other 139008 pt_BR
dc.identifier.uri http://repositorio.ufsc.br/xmlui/handle/123456789/76999
dc.description Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico. pt_BR
dc.format.extent xiii, 121f.| il., grafs. pt_BR
dc.language.iso por pt_BR
dc.publisher Florianópolis, SC pt_BR
dc.subject.classification Nitruração pt_BR
dc.subject.classification Teses pt_BR
dc.subject.classification Filmes finos pt_BR
dc.subject.classification Teses pt_BR
dc.subject.classification Metalizacao ionica pt_BR
dc.subject.classification Teses pt_BR
dc.subject.classification Titanio pt_BR
dc.subject.classification Metalografia pt_BR
dc.subject.classification Teses pt_BR
dc.title Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering / pt_BR
dc.type Tese (Doutorado) pt_BR


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