Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /
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Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /
| Title: | Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering / |
| Author: | Fontana, Luis Cesar |
| Description: | Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico. |
| URI: | http://repositorio.ufsc.br/xmlui/handle/123456789/76999 |
| Date: | 1997 |
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