Desenvolvimento de um sistema experimental para o estudo da interação plasma-superficie utilizando a tecnica de espectrometria de massa

Abstract

Este trabalho apresenta uma montagem experimental projetada para desenvolver o estudo sobre a interação plasma-superficie em tratamentos superficiais por plasma reativo em metais. Este estudo foi realizado utilizando-se a técnica de espectrometria de massa para a análise de espécies neutras e aplicado a investigação da descarbonetação de ligas Fe-C, observada na nitretação destes materiais. A primeira etapa do trabalho consistiu no desenvolvimento de um porta-amostra adequado ao experimento que suportasse alta tensão e alta temperatura. A segunda etapa, consistiu na realização de testes para verificação da funcionalidade do sistema. Para isso, escolhemos o caso da descarbonetação de ligas Fe-C em um plasma obtido numa mistura Ar-O2, tema de pesquisa desenvolvido anteriormente em nossos laboratórios. A partir destes foi possível avaliar o funcionamento do sistema e a partir daí, determinar as modificações necessárias para a viabilização em relação aos objetivos propostos acima.