Construção de uma câmara de vácuo para tratamento de materiais por plasma

Abstract

O projeto constitui-se da construção e aprimoramento de uma câmara de vácuo para tratamento de materiais por plasma, realizado no Laboratório de Tratamento de Superfícies (LaTS) da Universidade Federal de Santa Catarina. O objetivo principal foi expandir as capacidades do laboratório, permitindo a execução de projetos mais complexos e reduzindo a dependência de infraestrutura externa.

O projeto foi desenvolvido utilizando o software SOLIDWORKS 2017 para a modelagem em 3D e simulações estruturais, garantindo a integridade do equipamento. Além da câmara, um novo porta-amostras foi projetado e fabricado, permitindo aquecimentos de até 400°C, ampliando as possibilidades de experimentos no laboratório.

O projeto incluiu a revisão de componentes existentes, como a bomba de vácuo, a fonte de tensão ajustável e a base de fixação. Todos os componentes do reator foram modificados para melhorar o desempenho. A montagem do reator envolveu a soldagem de peças em aço inoxidável AISI 304, que passaram por testes de vedação e deformação. O sistema de aquecimento do porta-amostras foi testado com sucesso, atingindo a temperatura de 350°C em cerca de 6 minutos.

A montagem final do reator e os testes de formação de plasma foram bem-sucedidos, com o reator atingindo pressões internas adequadas para os experimentos. O sistema foi projetado para permitir o tratamento de materiais utilizando diferentes gases, ampliando as aplicações no laboratório.