Micro-Sistemas Integrados

Abstract

Este trabalho está relacionado com o desenvolvimento de um micro-sistema que é dividido em três partes funcionais: sensor e/ou atuador, eletrônica analógica e eletrônica digital. Serão abordados duas das três partes de um micro-sistema. A primeira parte descreve o desenvolvimento de um microacelerômetro capacitivo baseado em uma estrutura comb-drive como princípio de funcionamento. A segunda parte descreve o desenvolvimento de uma biblioteca de células básicas para uso em projetos digitais utilizando o estilo gate array e um processo CMOS. A parte da eletrônica analógica que consiste em circuitos de condicionamento e amplificação do sinal não será abordada neste trabalho. Este projeto foi realizado na Fundação Centro de Tecnologia para Informática (CTI), empresa sediada em Campinas - SP, que desenvolve projetos nas áreas de automação, computação e microeletônica.